罗茨泵作为真空机组的核心组件，通过一对同步反向旋转的叶形转子实现气体抽吸。转子间及转子与泵腔壁保持0.15-1.0mm间隙，确保无接触运行，消除摩擦损耗。其工作原理分三步：转子旋转形成封闭空间吸入气体；转子继续旋转压缩气体；当转子顶部越过排气口时，高压气体返冲提升压力，最终气体被排出。罗茨泵需搭配前级泵（如液环泵）使用，因无内压缩特性，单独运行无法直接抽大气。在真空机组中，罗茨泵负责中真空段抽气，前级泵处理粗真空，二者协同实现10⁻¹-1Pa的宽压强范围抽气，显著提升系统效率。